マイクロトロンは、直線加速器に比べて電子線エネルギーが均質であり、高エネルギー電子線滅菌に向いています。
電子線滅菌装置からの電子線は強力で、滅菌レベルまでの殺菌ができます。
γ線と比較して、発生するエネルギーが非常に大きく、滅菌を瞬時に行うことができます。

| 光源 | マイクロトロン |
| 電子線エネルギー | 2〜20MeV |
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電子ビーム出力 |
2〜40kW |
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